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小型離子濺射儀鄭州科探

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更新時(shí)間：2024-04-28 10:00:04瀏覽次數(shù)：82次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：582條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳先生（銷售）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型離子濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD在磁控濺射中，由于運(yùn)動(dòng)電子在磁場(chǎng)中受到洛侖茲力，它們的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)路徑變長(zhǎng)，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù)，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作。

詳細(xì)介紹

小型離子濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD

離子濺射儀功能：

一個(gè)更加廣泛的選擇由于全自動(dòng)直流離子濺射儀在制樣過(guò)程中被提供給了掃描電鏡用戶，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面簡(jiǎn)單智能，對(duì)人性更加的注重。一個(gè)低成本的解決方案由于離子濺射儀對(duì)SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了，與此同時(shí)能夠利用對(duì)金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來(lái)使得更細(xì)顆粒的涂層達(dá)到。與此同時(shí)，利用智能的人機(jī)界面對(duì)儀器的控制更加的方便、簡(jiǎn)單以及精確，與此同時(shí)，能夠?qū)﹀儗雍穸冗M(jìn)行估算，對(duì)真空實(shí)時(shí)顯，濺射電流對(duì)濺射時(shí)間進(jìn)行設(shè)定，對(duì)靶材的剩余情況進(jìn)行計(jì)算。

離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測(cè)結(jié)果得到了較為顯著的提高。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速

• 通過(guò)觸摸屏中直觀檢測(cè)數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁(yè)面可顯示歷史涂層信息。

• 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)

• 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射

• 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。

小型離子濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)（已安裝測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口