■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■安全性·保護
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
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