當(dāng)前位置：杭州秋籟科技有限公司>>膜厚儀/橢偏儀>>橢偏儀

橢偏儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-11-10 15:29:56瀏覽次數(shù)：310次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  膜厚儀/橢偏儀

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

杭州秋籟科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：95條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

橢偏儀

詳細(xì)介紹

橢偏儀

SpecEL-2000是一款操作便捷的臺式光譜橢偏儀，主要用于測量平整和半透明的樣品，例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。

橢圓偏光技術(shù)是一種非接觸式、非破壞性，以光學(xué)技術(shù)測量表面薄膜特性的方法。其檢測原理是：當(dāng)一束偏振光經(jīng)過物體表面或界面時，其偏振極化狀態(tài)會被改變。而橢偏儀就是通過探測樣品表面的反射光，來測量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面特性薄膜的光學(xué)常數(shù)（n、k值）及膜厚。

SpecEL-2000測試系統(tǒng)主要包括：寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、導(dǎo)光器件、起偏器、樣品測試臺、檢偏器、光學(xué)增強元件及測量分析軟件。

SpecEL-2000適合于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)特性，通常應(yīng)用于有薄膜存在的地方，其應(yīng)用包括光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計算機讀寫頭以及半導(dǎo)體集成電路制造的研究開發(fā)。另外，在生物、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)及材料研究等方面有著廣泛的應(yīng)用。

SpecEL橢偏儀基本性能：

◆基本型號：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR
◆光譜范圍：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)
◆測量范圍：1nm~10μm
◆膜厚分辨率：0.1nm
◆測量時間：7~13s
◆測量膜層：32層
◆光束直徑：300×1200μm (Smaller spots available)
◆入射角度：700 (other angles available)
◆樣品調(diào)整：高度±1mm；傾斜±10
◆測量指標(biāo)：光學(xué)常數(shù)(n&k)及膜厚
◆快速響應(yīng)：在線測量
◆基底材料：硅晶片和玻璃片等
◆數(shù)學(xué)模型：折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數(shù)學(xué)模型
◆應(yīng)用場合：光學(xué)鍍膜/保護(hù)膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導(dǎo)體集成電路