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上海沃盾精密設備科技有限公司
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3D表面輪廓儀7100
NewView 7100白光干涉儀是高性價比非觸摸式外表輪廓儀。NewView 7100外表輪廓儀以其的精細度和準確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺度以及樣品的描摹。測量過程精細，高速，非觸摸，且樣品無需特別處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測量規(guī)模能夠從小于1nm至20000μm，基于ZYGO的掃描技能。無論怎樣的外表描摹，擴大倍數以及臺階特性，NewView 7100系列只需一次掃描即可到達0.1nm的縱向分辨率，并獲得一切的被測參數。
體系參數:
◆原理:非觸摸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置:閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,
◆視場擴大倍率：高質量分立擴大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率:×,1.0×,1.5×,2.0×
◆成像擴大:電動3位體系成像擴大
◆視場:0.03-14mm，跟物鏡和擴大倍率有關,運用圖像拼接技能能夠得到更大規(guī)模
◆光源:均勻成像，高效率，特別設計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆操控:濾光板托架，視場光闌（輔佐聚集）
◆測量陣列:標配640×480像素；可選更高分辨率992×992
◆樣件調查:專用液晶顯示屏實時調查
◆精細聚集:電控手動和自動聚集
◆Z軸驅動:直流無刷微步進電機驅動，200mm行程,0.1μm精度
◆尺度:157×132×89cm，NewView：81×58×41cm，
◆分量:體系分量：約430Kg
◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz
◆計算機:帶液晶顯示器的高性能DELL計算機
◆軟件:ZYGO MetroPro軟件
◆物鏡座:可快速裝卸單物鏡夾具,選件:手動6位塔臺；電控6位塔臺；
◆物鏡：1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X
◆樣品臺:手動,俯仰.傾斜(±6°)和XY平移(±100mm),電動,俯仰(±4°)和XY平移(152mm)電動,俯仰(±4°)X-Theta(orY-Theta）和XY平移(152mm)三種可選.
◆縱向掃描:150μm，拓展掃描形式可到20mm,
◆縱向分辨率＜0.1nm,橫向分辨率0.36～9.5μm，與所選物鏡有關,
◆掃描速度≤26μm/sec,與所選的CCD和掃描形式有關
◆zui大數據點:標準307200；可選984064；
◆RMS重復性＜0.01 nm，RMSσ
◆臺階測量:準確度≤0.75%;重復性≤0.1% 1σ
◆測樣品特性:各種材料的外表：通明，不通明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射
◆zui大尺寸:89×203×203mm(高×寬×長);反射率:1-99.99%
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