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更新時(shí)間：2022-10-18 15:26:36瀏覽次數(shù)：153次
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日本HoribaSTECLE系列高溫大流量液體汽化器基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，和高效熱傳導(dǎo)材料的使用，LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結(jié)
日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，和高效熱傳導(dǎo)材料的使用，LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結(jié)。
日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器產(chǎn)品簡介：
基于合理的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，和高效熱傳導(dǎo)材料的使用，LE可實(shí)現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結(jié)。較高操作溫度可打300℃，IPA汽化量可達(dá)30g/min(或等價(jià))。
日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器產(chǎn)品特點(diǎn)：
創(chuàng)新設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)較大汽化率
新的噴射器嘴確保持續(xù)不斷穩(wěn)定汽化
全不銹鋼設(shè)計(jì)，很大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產(chǎn)
支持多種液體源汽化
日本Horiba STEC LE系列高溫大流量液體汽化器規(guī)格參數(shù)：
已應(yīng)用液體源：H2O/IPA/TEOS/SICL4
很大汽化量(氣體流量)：
H2O:10g/min (12.4 SLM)
IPA：30g/min (11.1 SLM)
TEOS:50g/min(5.3 SLM)
SiCl4：130g/min(17.1 SLM)
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