日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器

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更新時間：2023-01-24 09:56:51瀏覽次數(shù)：1109次

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產(chǎn)品簡介

日本HoribaS4832/HMT氣體質量流量控制器可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制

詳細介紹

日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。

日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點：

可以任意角度安裝

良好的線性——多段線性補償

快速的響應

電磁閥使用壽命大于等于100萬次

對零點漂移有效的抑制

良好的選擇性

化的零配件供應：傳感器，分流器，精致元器件日本進口

日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器技術參數(shù)：

編號	項目	S48 32/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調節(jié)閥類型	電磁調節(jié)閥
3	調節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%～99%
6	流量測量范圍	0～99%
7	響應時間	2s（T98，設定值的±2% F.S.）
8	工作環(huán)境溫度	5℃～50℃
9	精度保證溫度	15℃～35℃
10	精度	±1.0%F.S.
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa
15	泄漏率	1×10-8 Pa?m3/s （He）
16	接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
17	管路接頭	Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18	供電電源	±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA	+24VDC (寬電壓+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供電時)
19	設定信號	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20	流量輸出信號	(0～5)VDC 負載能力≤3mA	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
21	電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
22	重量(kg)	0.9