高溫電爐管式爐滑軌爐 1100℃管式爐石墨烯生長爐石英封裝爐

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更新時間：2023-01-30 08:38:21瀏覽次數(shù)：462次

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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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產(chǎn)品簡介

FGL（RTP）滑軌式管式爐(Tmax1100℃)滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的

詳細介紹

FGL（RTP）滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點

1、工作溫度RT～1000℃。

2、智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調(diào)用多段程序。

3、采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

4、爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風冷結(jié)構(gòu)。

5、不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。

6、兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管的使用壽命。

7、超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。

8、安全保護當爐體漏電時自動斷電。

額外選配爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；

監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

注：選件需配置拓展柜體；

技術(shù)參數(shù)