Teledyne HFM-D-300A/B 質(zhì)量流量計(jì)和HFC-D-302A/B 質(zhì)量流量控制器
HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì)，流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm
HFC-D-302A/B質(zhì)量流量控制器，流量范圍0-5 sccm到0-25 slm
全金屬，快速響應(yīng)，精確度高！
質(zhì)量流量技術(shù)提供可靠，可重復(fù)和準(zhǔn)確的氣體流速測(cè)量。
Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A質(zhì)量流量?jī)x器的流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金屬密封件，提供模擬和數(shù)字輸出，并由不銹鋼制成。通過(guò)基于Windows的軟件界面提供簡(jiǎn)單，用戶友好的數(shù)字通信。
數(shù)字功能中包含傳感器，閥門和溢流的自診斷功能。同樣令人感興趣的是自動(dòng)調(diào)零功能，它可以檢測(cè)閥門何時(shí)關(guān)閉并自動(dòng)重置零點(diǎn)。這些質(zhì)量流量計(jì)和控制器可以存儲(chǔ)多達(dá)10種不同范圍和氣體的校準(zhǔn)。另一個(gè)功能是內(nèi)置累加器，用于監(jiān)控用戶設(shè)定條件下的燃?xì)馐褂们闆r。
±（讀數(shù)的0.5％+滿量程的0.2％）精度
應(yīng)用和行業(yè)
泄漏測(cè)試
薄膜沉積
高純度氣體輸送
熱火焰噴涂
氣體混合
制藥工藝
Teledyne HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì)
范圍：/t0-5 sccm到0-25 slm（N 2）
準(zhǔn)確性：/t+（讀數(shù)的0.5％+滿量程的0.2％）
重復(fù)性：/t+ 0.15％的FS
*大工作壓力：/t500 PSIG（可選1000 PSIG）
安頓時(shí)間：/t通常<1秒
模擬I / O（標(biāo)準(zhǔn)）：/t0 - 5 VDC
模擬I / O（可選）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
數(shù)字I / O（標(biāo)準(zhǔn)）：/tRS-232，RS-485
模擬連接器：/t15針超小型D
數(shù)字連接器：/t雙RJ-12
電源要求：/t11 - 36 VDC 3.1瓦（*大值），單極或雙極（例如+ 15 VDC，+ 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，鎳200,304 SS，302 SS
Teledyne HFC-D-302A/B控制器
范圍：/t0 - 5sccm至0 - 25 SLM（N 2 ）
準(zhǔn)確性：/t+ （0.5％讀數(shù)+滿刻度的0.2％）
重復(fù)性：/t+ FS的0.15％
*大工作壓力：/t500 PSIG（可選1000 PSIG）
安頓時(shí)間：/t典型值<1 - 2秒
模擬I / O（標(biāo)準(zhǔn)）：/t0 - 5 VDC
模擬I / O（可選）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
數(shù)字I / O（標(biāo)準(zhǔn)）：/tRS-232，RS- 485
模擬連接器：/t15針微型d
數(shù)字連接器：/t雙RJ-12
電源要求：/t11 - 36 VDC 6.7瓦特（*大），單極性或雙極性（例如 + 15 VDC， + 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，鎳200，302 SS，304 SS，的Kalrez（閥座）
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