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Teledyne HPM-2002雙傳感器真空計(jì)

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屢獲殊榮的2002系列寬范圍雙傳感器真空計(jì)有兩種安裝方式，面板安裝或傳感器安裝。

詳細(xì)介紹

Teledyne HPM-2002雙傳感器真空計(jì)

屢獲殊榮的2002系列寬范圍雙傳感器真空計(jì)有兩種安裝方式，面板安裝或傳感器安裝。

HPM-2002雙傳感器真空計(jì)是一種面板安裝儀器，帶有基于微處理器的顯示單元，儀表管和互連電纜。兩個(gè)傳感元件（微機(jī)械皮拉尼和壓阻式傳感器）可在1 X 10-4至1000 Torr的壓力下提供精確的真空測(cè)量。駐留在微處理器中的算法確保傳感器之間的無(wú)縫過(guò)渡。HPM-2002-OBE雙傳感器真空計(jì)是儀表的系統(tǒng)安裝版本。HPM-2002-OBE以緊湊的配置提供2002系列的所有性能特性，您可以選擇12種信號(hào)輸出選項(xiàng)。

應(yīng)用

半導(dǎo)體蝕刻

濺射室

負(fù)載鎖定系統(tǒng)

過(guò)程控制和測(cè)試

等離子涂層