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深圳維爾克斯光電有限公司


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聚焦光束檢測設(shè)備

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更新時間:2023-04-12 13:52:39瀏覽次數(shù):281次

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產(chǎn)品簡介

聚焦光束檢測設(shè)備(FBP)可以實現(xiàn)5μm到100μm光斑尺寸的測量,功率可接受50mW到500mW的范圍,德國degger-tools公司的超短脈沖聚焦光斑檢測設(shè)備主要適用于三個主要波段,分別是:1030/1064nm,515/532nm,343/355nm,同時可以配置相應(yīng)的衰減片,實現(xiàn)更高功率的檢測。

詳細介紹

       聚焦光束檢測設(shè)備基于相機式原理的相機式光斑分析儀,儀器內(nèi)部采用CMOS傳感器實現(xiàn)探測,但是單純的CMOS傳感器無法承受焦點光斑的功率密度,因此Degger-tools在激光入口處進行特殊處理,入口前面設(shè)計光學(xué)成像以及衰減元件。因為超快激光的能量密度過高,必須對所有光學(xué)元件對單一波段進行反光涂層,用于實現(xiàn)焦點光斑的監(jiān)控測試需求,因此僅可對三個波段實現(xiàn)測量。聚焦光斑分析儀在超快激光的精密生產(chǎn)上有廣泛的應(yīng)用,是調(diào)試高精度DOE的工具。

Focus Beam Profile是德國Degger-tools生產(chǎn)用于光斑檢測設(shè)備,主要測量焦點光斑輪廓,尺寸和位置的聚焦光斑分析儀,可以實現(xiàn)對超短脈沖激光狀態(tài)的實時監(jiān)控,主要適用于三個波段:1030/1064nm515/532nm,343/355nm,該設(shè)備的有效傳感面積為6.656 mm x 5.325 mm,在配置對應(yīng)的采樣器或衰減片后,可以實現(xiàn)大功率的監(jiān)控需求。



超短脈沖聚焦光束分析儀規(guī)格參數(shù):

Focus Beam Profile

傳感器類型

CMOS

尺寸

150mm×130mm×56mm

光譜范圍:

1030/1064nm515/532nm,343/355nm

功率范圍

50mW — 500mW

總分辨率

1.31 Mpixel

芯片尺寸

6.656 mm x 5.325 mm

像素大小

5.2 μm

精度-光束位置

± 0.2 μm

精度-光束質(zhì)量-M2

± 5 



聚焦光束輪廓分析儀M2測量方法:

聚焦光束監(jiān)控M2因子一直是激光檢測的難題,傳統(tǒng)利用導(dǎo)軌檢測的方案無法實現(xiàn)焦點測量,因此再檢測時需要在瑞利長度內(nèi)選取采樣數(shù)據(jù),保證數(shù)據(jù)的準確性。

假設(shè)激光波長是1微米,激光聚焦后的瑞利長度就為1.26mm。按照ISO11146檢測要求最少需要檢測15個截面,如下圖說示,方框里面五次檢測,方框左右各五次檢測。

當激光的聚焦面大致在Focus Beam Profile的入口處的時候,就可以測量當前截面的直徑,通過上下移動振鏡,就可以得到不同截面的激光分布和直徑。一直上下移動就可以找到最小的直徑,也就是聚焦平面了,我們定義為Z0。

找到聚焦平面后,以當前的激光為例子,需要測量Z-1.8mm1.8mm,

-1.8到-1.2之間需要測量5個截面。

-1.2到1.2之間需要測量5個截面。

-1.2到1.8之間需要測量5個截面。

當然,也可以從-1.81.8 每隔0.1mm測量一次。這樣就可以得到所有截面的能量分布,激光直徑。


測量的分布數(shù)據(jù)可以選擇不同的圖片格式保存下來,jpg,png,tiff,等等。原始數(shù)據(jù)csv也可以輸出。


Degger相機式光斑分析儀訂購型號及描述:

Focus Beam Profile


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