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Minusk原子力顯微鏡隔振臺(tái)

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深圳維爾克斯光電有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

原子力顯微鏡需要納米級(jí)別的隔振要求，這在計(jì)量學(xué)上是極其嚴(yán)格的，為了擺脫建筑物和地面的振動(dòng)對(duì)原子力顯微鏡觀測(cè)的影響，Minusk原子力顯微鏡隔振平臺(tái)至關(guān)重要。Minusk的隔振平臺(tái)憑借其負(fù)剛度技術(shù)使顯微鏡免除外界振動(dòng)的影響，能夠工作在極其穩(wěn)定的狀態(tài)之下。因此每一個(gè)使用原子力顯微鏡的科研單位和機(jī)構(gòu)都應(yīng)該配備有Minusk原子力顯微鏡隔振平臺(tái)。

詳細(xì)介紹

MinusK Technology公司擁有的負(fù)剛度技術(shù)，制造以及銷(xiāo)售的隔振產(chǎn)品。隔振平臺(tái)(Vibration Isolation platform)，又稱(chēng)減振平臺(tái)、隔振臺(tái)、隔震平臺(tái)和減震平臺(tái)等，是通過(guò)將建筑物以及樓層所產(chǎn)生的振動(dòng)降低到的水平，從而使對(duì)振動(dòng)敏感的儀器和設(shè)備能夠在的狀態(tài)下運(yùn)行。減振平臺(tái)被廣泛應(yīng)用于納米科技、生物科學(xué)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、材料研究、航天器零重力環(huán)境模擬和音頻。MinusK隔振平臺(tái)使用無(wú)源的手段，通過(guò)限制振動(dòng)耦合到要隔離振動(dòng)的對(duì)象來(lái)實(shí)現(xiàn)隔振，其隔振機(jī)制是通過(guò)機(jī)械連接方式進(jìn)行振動(dòng)隔離，振動(dòng)能量到達(dá)隔離對(duì)象之前將其消散以達(dá)到隔振效果。MinusK減震平臺(tái)通過(guò)使用彈簧和負(fù)剛度裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)隔振。對(duì)于諧振頻率為1/2赫茲的系統(tǒng)，振動(dòng)隔離頻率開(kāi)始于1赫茲左右，并且隔振性能較振動(dòng)隔離頻率開(kāi)始于5至10赫茲的氣浮減振平臺(tái)好50至100倍。

顯微鏡需要納米和微米級(jí)的隔振要求，這在計(jì)量學(xué)上是極其嚴(yán)格的。為了擺脫實(shí)驗(yàn)室或無(wú)塵室的外界微小振動(dòng)擾動(dòng)和結(jié)構(gòu)噪聲對(duì)顯微鏡使用的影響，顯微鏡減振平臺(tái)至關(guān)重要，MinusK隔振臺(tái)通過(guò)負(fù)剛度技術(shù)以及無(wú)源技術(shù)使顯微鏡穩(wěn)定的工作在的性能狀態(tài)下。并且MinusK提供的隔振臺(tái)具有理想的蹦極系統(tǒng)以及便利的臺(tái)式結(jié)構(gòu)，可以解決許多與顯微鏡放置相關(guān)的安裝問(wèn)題，適用于小型的顯微鏡，如原子力顯微鏡。對(duì)于原子力顯微鏡來(lái)說(shuō)，隔振是必要的，原子力顯微鏡隔震臺(tái)能有效隔離建筑物的振動(dòng)對(duì)原子力顯微鏡所造成的擾動(dòng)，每一個(gè)使用原子力顯微鏡的科研機(jī)構(gòu)都應(yīng)使用MinusK的原子力顯微鏡隔震臺(tái)，從而獲得更高精度的圖像以及數(shù)據(jù)，實(shí)驗(yàn)人員從而無(wú)需擔(dān)心外部環(huán)境對(duì)顯微鏡造成的影響。

隔振平臺(tái)的主要特點(diǎn)：

-使用負(fù)剛度隔離技術(shù)

-可隔離低頻振動(dòng)

-無(wú)源

-水平和垂直固有頻率可低至1/2赫茲

MinusK減振平臺(tái)是使用負(fù)剛度隔離技術(shù)的無(wú)源振動(dòng)隔離裝置，無(wú)源裝置的成本通常低于有源裝置，并且可靠、安全以及操作簡(jiǎn)單。在干涉測(cè)量、顯微鏡（包括SPM、SEM和AFM等）、納米加工和顯微硬度測(cè)試等的技術(shù)應(yīng)用中，減震平臺(tái)可以使儀器發(fā)揮出的性能。

隔振平臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域：

-顯微鏡（SPM、SEM和AFM原子力顯微鏡等）

-微硬度測(cè)試/納米壓痕

-激光/光學(xué)系統(tǒng)

-航天器地面試驗(yàn)

-生物學(xué)/神經(jīng)科學(xué)

-微電子/微機(jī)電系統(tǒng)制造

-低溫恒溫器

-分析天平

-音頻再現(xiàn)

-真空隔離

-大排量系統(tǒng)

-重型系統(tǒng)

BM-10臺(tái)式隔振平臺(tái)：

BM-10臺(tái)式隔震臺(tái)提供的性能是全尺寸氣浮隔震平臺(tái)的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，12英寸寬和深，并且無(wú)需空氣或電。它提供了1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

BM-10系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：310mm W x 310mm D x 117mm H
10BM-10	0 - 4.5 kg
25BM-10	4.5 - 14 kg
50BM-10	14 - 25 kg
75BM-10	22.5 - 36 kg
100BM-10	34 - 50 kg

BM-8臺(tái)式隔振平臺(tái)：

BM-8臺(tái)式隔震臺(tái)提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺(tái)的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，并且無(wú)需空氣或電。這種減震平臺(tái)極易使用，。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

BM-8系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H
25BM-8	4.5 - 14 kg
50BM-8	11 - 25 kg
100BM-8	23 - 48 kg
125BM-8	40 - 59 kg
150BM-8	57 - 70 kg
175BM-8*	68 - 81.5 kg
200BM-8*	79.5 - 93 kg
225BM-8*	90.5 - 104 kg
250BM-8*	102 - 115.5 kg
*重量：約21 kg

BM-6臺(tái)式隔振平臺(tái)：

新的BM-6臺(tái)式隔震平臺(tái)比一個(gè)全尺寸的氣浮隔振臺(tái)提供了更好的性能，只有4.6英寸高，并且不需要空氣，這種新的減振平臺(tái)達(dá)到了一個(gè)新的價(jià)格點(diǎn)，并且非常易于使用。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和2.5赫茲的垂直固有頻率，并且無(wú)需空氣和電。

BM-6系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H
25BM-6	4.5 - 14 kg
50BM-6	11 - 25 kg
100BM-6	23 - 48 kg

BM-4臺(tái)式隔振平臺(tái)：

成本效益的臺(tái)式隔震平臺(tái)，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BM-4系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約27 kg 尺寸：427mm W x 427mm D x 216mm H
25BM-4	0 - 11 kg
50BM-4	9 - 25 kg
100BM-4	23 - 48 kg
150BM-4	41 - 70 kg
200BM-4	63 - 93 kg

BM-1臺(tái)式隔振平臺(tái)：

容量的臺(tái)式減震平臺(tái)，一款經(jīng)濟(jì)高效的產(chǎn)品，承重高達(dá)680磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BM-1系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H
100BM-1	27 - 48 kg
150BM-1	41 - 70 kg
250BM-1	82 - 123 kg
350BM-1	132 - 168 kg
500BM-1	164 - 239 kg
650BM-1	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號(hào)高0.675英寸
850BM-1	285 - 408 kg
1000BM-1	403 - 476 kg

BA-1臺(tái)式隔振平臺(tái)：

容量的臺(tái)式減震平臺(tái)，一款經(jīng)濟(jì)高效的產(chǎn)品，承重高達(dá)1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BA-1系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H
100BA-1	27 - 48 kg
150BA-1	41 - 70 kg
250BA-1	82 - 123 kg
350BA-1	132 - 168 kg
500BA-1	164 - 239 kg
650BA-1	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號(hào)高0.675英寸
850BA-1	285 - 408 kg
1000BA-1	403 - 476 kg

CT-2極薄低高度臺(tái)式隔振平臺(tái)：

緊湊型臺(tái)式減震平臺(tái)（CT-2）采用了MinusK的突破性技術(shù)，只需2.7英寸高的隔離平臺(tái)就可以獲得市場(chǎng)上性能。該隔震平臺(tái)提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺(tái)的10-100倍，并且無(wú)需空氣或電，它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

CT-2系列型號(hào)	載荷范圍
重量：約13.6 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 68.6mm H
30CT-2	8.2 - 14 kg
60CT-2	19 – 31.7 kg
100CT-2	31 - 47 kg
150CT-2	51 – 71.5 kg
200CT-2	70.5 – 95.2 kg
250CT-2	93 – 114.3 kg

WS-4緊湊型隔振平臺(tái)：

一個(gè)經(jīng)濟(jì)有效的隔震平臺(tái)，承重高達(dá)1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

WS-4系列型號(hào)	載荷范圍
總重量：約62 kg 隔振器重量：約36 kg 支架重量：25 kg 尺寸：610mm W x 610mm D x 838mm H
100WS-4	27 - 48 kg
150WS-4	41 - 70 kg
350WS-4	82 - 123 kg
500WS-4	132 - 168 kg
500WS-4	164 - 239 kg
650WS-4	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號(hào)高0.675英寸
850WS-4	285 - 408 kg
1000WS-4	403 - 476 kg

MK26符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的超低頻隔振平臺(tái)和工作站

由不同型號(hào)的BM-1所設(shè)計(jì)的隔振工作站，可設(shè)計(jì)為無(wú)孔結(jié)構(gòu)，無(wú)添加桌面材質(zhì)的蜂巢結(jié)構(gòu)的載荷范圍如下表所示：

MK26系列型號(hào)	載荷范圍
MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-01-XX: 250BM-1	33 kg -74 kg
MK2602-01-XX: 350BM-1	83 kg -119 kg
MK2603-01-XX: 500BM-1	115 kg -190 kg
MK2604-01-XX: 650BM-1	178 kg -260 kg
MK26-76cm X 91cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK2605-01-XX: 850BM-1	223 kg - 345 kg
MK2606-01-XX: 1000BM-1	341 kg - 413 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-22-XX: 250BM-1	0 kg - 39 kg
MK2602-22-XX: 350BM-1	48 kg - 84 kg
MK2603-22-XX: 500BM-1	80 kg -155 kg
MK2604-22-XX: 650BM-1	143kg -225 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK2605-22-XX: 850BM-1	179 kg - 301 kg
MK2606-22-XX: 1000BM-1	297 kg - 369 kg

桌面材質(zhì)選擇，包括白色塑料、不銹鋼、黑色塑料、防靜電層，改變桌面材質(zhì)的載荷范圍如下表所示：

MK26系列型號(hào)	載荷范圍
MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-01-XX: 250BM-1	23 kg - 64 kg
MK2602-01-XX: 350BM-1	73 kg - 110 kg
MK2603-01-XX: 500BM-1	105 kg - 180 kg
MK2604-01-XX: 650BM-1	169 kg - 250 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-22-XX: 250BM-1	0 kg - 23 kg
MK2602-22-XX: 350BM-1	32 kg - 69 kg
MK2603-22-XX: 500BM-1	69 kg - 139 kg
MK2604-22-XX: 650BM-1	127 kg - 209 kg

MK52符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的超低頻光學(xué)平臺(tái)和工作站

由不同型號(hào)的BM-1所設(shè)計(jì)的隔振工作站，可設(shè)計(jì)為無(wú)孔結(jié)構(gòu)，無(wú)添加桌面材質(zhì)的蜂巢結(jié)構(gòu)載荷范圍如下表所示：

MK52系列型號(hào)	載荷范圍
MK52-91cm X 122cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5201-3648-XX: 250BM-1 2英寸	90 kg - 172kg
MK5201-3648-XX: 250BM-1 4英寸	67 kg - 148 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1 2英寸	190 kg - 262 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1 4英寸	166 kg - 239 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1 2英寸	253 kg - 403 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1 4英寸	230 kg - 380 kg
MK5204-3648-XX: 650BM-1 4英寸	357 kg - 520 kg
MK5205-3648-XX: 850BM-1 4英寸	475 kg - 720 kg
MK5206-3648-XX: 1000BM-1 4英寸	711 kg - 856 kg
MK52-91cm X 152cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5 cm
MK5201-3660-XX: 250BM-1 2英寸	67 kg - 148 kg
MK5201-3660-XX: 250BM-1 4英寸	37 kg - 119 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1 2英寸	166 kg - 239 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1 4英寸	137 kg - 210 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1 2英寸	230 kg - 380 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1 4英寸	200 kg - 350 kg
MK5204-3660-XX: 650BM-1 4英寸	327 kg - 491 kg
MK5205-3660-XX: 850BM-1 4英寸	445 kg - 690 kg
MK5206-3660-XX: 1000BM-1 4英寸	681 kg - 826 kg
MK52-91cm X 183cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5201-3672-XX: 250BM-1 2英寸	43 kg - 125 kg
MK5201-3672-XX: 250BM-1 4英寸	8 kg - 89 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1 2英寸	143 kg - 215 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1 4英寸	108 kg - 180 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1 2英寸	206 kg - 356 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1 4英寸	171 kg - 321 kg
MK5203-3672-XX: 650BM-1 4英寸	298 kg – 461 kg
MK5205-3672-XX: 850BM-1 4英寸	416 kg - 661 kg
MK5206-3672-XX: 1000BM-1 4英寸	652 kg - 797 kg
MK52-91cm X 244cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-3696-XX: 350BM-1 4英寸	49 kg - 121 kg
MK5203-3696-XX: 500BM-1 4英寸	112 kg - 262 kg
MK5204-3696-XX: 650BM-1 4英寸	239 kg - 403 kg
MK5205-3696-XX: 850BM-1 4英寸	357 kg - 602 kg
MK5206-3696-XX: 1000BM-1 4英寸	593 kg - 738 kg
MK52-122cm X 152cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4860-XX: 350BM-1 4英寸		88 kg - 161 kg
MK5203-4860-XX: 500BM-1 4英寸		151 kg - 301 kg
MK5204-4860-XX: 650BM-1 4英寸		279 kg - 442 kg
MK5205-4860-XX: 850BM-1 4英寸		396 kg - 641 kg
MK5206-4860-XX: 1000BM-1 4英寸		632 kg - 777 kg
MK52-122cm X 183cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4872-XX: 350BM-1 4英寸		49 kg - 121 kg
MK5203-4872-XX: 500BM-1 4英寸		112 kg - 262 kg
MK5204-4872-XX: 650BM-1 4英寸		239 kg - 403 kg
MK5205-4872-XX: 850BM-1 4英寸		357 kg - 602 kg
MK5206-4872-XX: 1000BM-1 4英寸		593 kg - 738 kg
MK52-122cm X 244cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4896-XX: 350BM-1 4英寸		0 kg - 43 kg
MK5203-4896-XX: 500BM-1 4英寸		34 kg - 184 kg
MK5204-4896-XX: 650BM-1 4英寸		161 kg - 324 kg
MK5205-4896-XX: 850BM-1 4英寸		279 kg - 524 kg
MK5206-4896-XX: 1000BM-1 4英寸		515 kg - 660 kg

桌面材質(zhì)選擇，包括白色塑料、不銹鋼、黑色塑料、防靜電層，改變桌面材質(zhì)的載荷范圍如下表所示：

MK52系列型號(hào)	載荷范圍
MK52-91cm X 122cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3648-XX: 250BM-1	74 kg - 156 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1	174 kg - 247 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1	238 kg - 387 kg
MK5204-3648-XX: 650BM-1	365 kg - 528 kg
MK52-91cm X 152cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3660-XX: 250BM-1	47 kg - 129 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1	147 kg - 219 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1	210 kg - 360 kg
MK5204-3660-XX: 650BM-1	337 kg - 501 kg
MK5205-3660-XX: 850BM-1	455 kg - 700 kg
MK52-91cm X 183cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3672-XX: 250BM-1	20 kg - 101 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1	119 kg - 192 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1	183 kg - 333 kg
MK5203-3672-XX: 650BM-1	310 kg - 473 kg

用于大型顯微鏡的FP-1地面式隔振平臺(tái)（定制隔振平臺(tái)）：

FP-1由一個(gè)大鋼制平臺(tái)，兩個(gè)到三個(gè)MinusK SM-1負(fù)剛度隔振器，連接隔振器與平臺(tái)的支架，隔振器地面和用于分散隔振器地面以及壓載物重量的螺旋千斤鼎構(gòu)成。該隔震平臺(tái)適用于大型顯微鏡，并且該隔振系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率，此外，系統(tǒng)大的重量有助于減少連接到顯微鏡上的外部線路，電纜，軟管對(duì)隔離系統(tǒng)的影響。

顧客傾向于自行組裝此減震平臺(tái)的可以購(gòu)買(mǎi)此套SM-1負(fù)剛度隔振器的設(shè)計(jì)方案，并在當(dāng)?shù)刈孕薪M裝平臺(tái)以節(jié)省制造以及運(yùn)輸成本。