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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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更新時間:2022-09-09 15:41:28瀏覽次數(shù):190次

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產(chǎn)品簡介

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進行控制,操作方便直觀。該機設(shè)備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實驗室中。

關(guān)鍵詞:離子濺射儀

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