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沈陽科晶自動化設備有限公司


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SE-Mapping光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2022-11-06 15:20:34瀏覽次數(shù):301次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:979條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

SE-Mapping光譜橢偏儀

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:SE-Mapping光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學參數(shù)自定義繪制化測量表征分析。SE-Mapping光譜橢偏儀廣泛應用OLED,LED,光伏,集成電路等工業(yè)應用中,實現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。

 

產(chǎn)品型號

SE-Mapping光譜橢偏儀

主要特點

1、全基片橢偏繪制化測量解決方案

2、支持產(chǎn)品設計以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量

3、配置Mapping模塊,全基片自定義多點定位測量能力

4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力

5、采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

6、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

7、具備全基片自定義多點自動定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報告

8、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度:固定角+ mapping

2、應用定位:檢測型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光譜

4、分析光譜:380-1000nm(可擴至193-2500nm)

5、單次測量時間:0.5-5s

6、重復性測量精度:0.01nm

7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,微光斑200um

8、入射角調(diào)節(jié)方式:固定角

9、入射角范圍:65°

10、找焦方式:手動找焦

11、Mapping1程:300x300mm

12、支持樣件尺寸:至300mm

可選配件

3

真空泵

 

4

透射吸附組件

 

關(guān)鍵詞:橢偏儀 補償器 真空泵

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