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SE-i 光譜橢偏儀

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更新時間：2022-11-08 16:05:08瀏覽次數(shù)：205次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

SE-i 光譜橢偏儀

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度：固定變角

2、應(yīng)用定位：原位定制型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光譜

4、分析光譜：380-1000nm，支持按需定制化

5、單次測量時間：0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度：0.01nm

7、入射角范圍：65°（支持定制）

關(guān)鍵詞：橢偏儀