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SE-i 光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2022-11-08 16:05:08瀏覽次數(shù):205次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:979條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

SE-i 光譜橢偏儀

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

 

產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度:固定變角

2、應(yīng)用定位:原位定制型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S等光譜

4、分析光譜:380-1000nm,支持按需定制化

5、單次測量時間:0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度:0.01nm

7、入射角范圍:65°(支持定制)

關(guān)鍵詞:橢偏儀

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