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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2022-12-08 14:43:36瀏覽次數(shù):141次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過(guò)調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng),可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)。

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1雙層殼體,配有冷系統(tǒng),爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

2內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)

4、采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  7KW 40A保險(xiǎn)絲)

2、石英管:外徑Ø125mm,內(nèi)徑120mm,長(zhǎng)1400mm,帶有一對(duì)真空密封法蘭

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區(qū)域:溫區(qū)I長(zhǎng)229mm,溫區(qū)II長(zhǎng)457mm,溫區(qū)III長(zhǎng)229mm,總長(zhǎng)915mm

5、恒溫區(qū)域:三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm,溫區(qū)II110mm

6工作溫度:1200,連續(xù)工作1100

7、升降溫速率:20/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:K

10、浮子流量計(jì):3個(gè),量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min

11、數(shù)字真空計(jì):10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg


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