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PCE-8等離子清洗機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-01-29 07:31:00瀏覽次數:448次

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產品簡介

PCE-8等離子清洗機

詳細介紹

產品簡介:PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 Ø8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,對生長具有顯著的作用PCE-8等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等保護氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。

  

產品型號

PCE-8等離子清洗機

主要特點

1、6"彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

2部配有0-500mm/min的質量流量計,可以精確地控制進氣流量。

技術參數

1電源:AC220V

2、射頻功率:100W,可在0-100W間調節(jié)

3、真空泵功率:<500W

4、總功率:<600W

5、射頻:13.56MHz

6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑Ø8.5",內徑Ø8.2",長12",采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封,法          蘭設有一個Ø60mm的觀察窗口

7、極限真空度:50mtorr

8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定)

清洗及蝕刻

產品規(guī)格

尺寸:620mm×450mm×600mm

可選配件

1、300W、600W射頻電源(進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗)

22"-6"石英舟(盛放基片)

3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

4、2-4通道質子混氣系統(tǒng)

5、直連式雙旋真空泵(240L/min

6、KF25波紋管

7、KF25手動擋板閥


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