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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間:2023-06-29 13:02:14瀏覽次數(shù):232次

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產(chǎn)品簡介

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍,一個(gè)弱磁靶用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個(gè)強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。

 

產(chǎn)品型號

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

主要特點(diǎn)

1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

3、體積小,操作簡便。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源:220V/50Hz

2、濺射靶數(shù)量:2

3、靶槍冷卻方式:水冷

4、極限真空度:7.4E-5pa

5、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm

6、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵

7、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣)

8、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制

9、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

10、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm

關(guān)鍵詞:質(zhì)量流量計(jì)

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