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1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間:2023-06-29 15:05:19瀏覽次數(shù):115次

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產(chǎn)品簡介

1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8外爐管直徑達(dá)到11",內(nèi)管直徑8.5",在加熱管一端裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上配有機(jī)械壓力表和閥門,三個(gè)溫區(qū)都采用30段可編程數(shù)字控溫器,并配有K型熱電偶進(jìn)行測溫,專門針對于在金屬箔上生長薄膜物質(zhì)。

 

 

 

產(chǎn)品型號

1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<70℃。內(nèi)爐膛采用高純度氧化鋁材料,可以的減少能量的損。

2采用不銹鋼真空密封法蘭,使用硅膠密封圈進(jìn)行密封。

3、采用三個(gè)PID控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、加熱前需將石英管堵放入爐管,防止熱量以熱輻射的形式散失。

5、使用內(nèi)管進(jìn)行薄膜生長可放置8"基片。

6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相AC 220V  50Hz/60Hz   8KW(需50A的空氣開關(guān))

2、石英管:外管外徑Ø279mm,內(nèi)徑Ø269mm,長1300mm,兩端打開,可連接法蘭

內(nèi)管外徑Ø216mm,內(nèi)徑Ø206mm,長750mm,一端封閉,一端連接氣體出入口

3、加熱元件:NiCrAl電阻絲

4、加熱區(qū)域:長900mm

5、溫區(qū):3個(gè),各300mm

6、恒溫區(qū)域500mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度)

7、工作溫度:1100℃(<1h,連續(xù)工作200-1000

8、升降溫速率:10/min

9熱電偶:3個(gè),K

10、控溫精度:±1

11、真空度:10-2torr(機(jī)械泵)

12、法蘭:左側(cè)法蘭包括化學(xué)氣相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體進(jìn)出口,右側(cè)法蘭設(shè)有KF-40真空接口和真空閥門

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm,包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm

重量:200kg

可選配件

1石英管堵

2、PC控溫軟件

3、KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭


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