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25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 10:41:59瀏覽次數(shù):239次

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25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC是一款小型程控感應(yīng)熔煉系統(tǒng),配備有直徑Ø100mm的石英管、不銹鋼法蘭、石墨坩堝、真空泵、水冷機和移動架,功率為25KW,是生長晶體和合金熔煉(熔點< 1700ºC)的理想選擇。

25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC操作視頻

 

 

產(chǎn)品型號

    25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

    1配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。

    2、設(shè)有自動水壓、過熱、功率過高保護系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

    4、配有防腐型真空計,當(dāng)氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8×10E-5 torr。

    5配有雙旋直連式機械泵。

技術(shù)參數(shù)

 高頻感應(yīng)加熱爐

    1、工作電壓:三相AC 380V  50Hz(需60A空氣開關(guān))

    2、輸入功率:15KW

    3、振蕩頻率:30KHz-80KHz

    4、循環(huán)比:80%

    5、感應(yīng)線圈:外徑Ø120mm,內(nèi)徑Ø110mm,高50mm(可微調(diào))

 溫度控制器

    1、工作電壓:AC208V-240V  單相

    2、控溫精度:±5

    3溫度:連續(xù)工作溫度1000-2000℃,工作溫度1700℃(工作時間<30min

    4、升溫速率:1/s0-1000℃)、0.5/s1200-1700℃)

 石墨坩堝(易耗件)

    1高純石墨坩堝:外徑Ø40mm,內(nèi)徑Ø37.1mm,高100.5mm(可選購SiC涂層,涂在坩堝內(nèi)部,以提高金屬熔煉的潔凈度)

    2、容量:樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2

                             

 石英管和密封法蘭

    1、石英管:外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø92mm,長355mm

    2部法蘭:不銹鋼法蘭,裝有不銹鋼針閥,設(shè)有1鎧裝接口(可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,更準(zhǔn)確地測量樣品溫度)

    3、底部法蘭:設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口(可通過波紋管與真空泵相連接)

 水冷機

    1、溫度:5-30

    2、水流速:16L/min

    3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作

  (建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果)

 真空泵

    1、工作電壓:AC208V-240V單相

    2、抽氣速率:120L/min

    3、極限真空度:10-2torr

  (為了獲得更高的真空度以達到更好的熔煉效果,可選購渦旋分子泵,真空度可達10E-5torr

注意事項

 操作前,必須仔細(xì)閱讀說明書,且操作人員需帶防護面罩。使用時,熔煉必須在0.02Mpa 的流動氬氣下進行,流量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過安

 全值,會引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。

其他事項

 本機可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。請參看下圖。

 


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