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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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500W直流濺射電源DC-500-LD

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2023-06-30 19:58:12瀏覽次數(shù):132次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

500W直流濺射電源DC-500-LD

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:500W直流濺射電源DC-500-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀,主要為濺射儀提供直流電源,配合磁控濺射頭達(dá)到濺射靶材的目的。工作過程中輸出功率可達(dá)到500W,輸出電壓可達(dá)DC600V,電壓和電流的分辨都,可以滿足對(duì)絕大多數(shù)導(dǎo)電材料的濺射的目的。500W直流濺射電源DC-500-LD配用本司的磁控濺射頭,再搭配循環(huán)水冷機(jī)及高真空系統(tǒng)自行搭建磁控濺射鍍膜儀對(duì)樣品進(jìn)行鍍膜操作。500W直流濺射電源DC-500-LD是磁控濺射儀中的組成部分。

 

產(chǎn)品型號(hào)

500W直流濺射電源DC-500-LD

技術(shù)參數(shù)

1輸入電壓:AC 220V        

2、輸出功率:500W

3、輸出電壓:DC 600V

4、電壓分辨率:DC 1.0V

5、輸出電流:DC 0.8A

6、電流分辨率:1mA

7、控制精度:±1%

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:440mm×160mm×440mm

可選配件

12"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RFDC濺射鍍膜儀。

            

2、同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí),本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75",可將濺射

  頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。

                   

3、循環(huán)水冷機(jī),流量為16L/min,水箱容積為6L。



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