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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動化設備有限公司


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GSL-PECVD-300化學氣相沉積

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 20:41:12瀏覽次數(shù):135次

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產(chǎn)品簡介

GSL-PECVD-300化學氣相沉積

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:GSL-PECVD-300化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術,基本溫度低,沉積速率,在光學玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂,適制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

產(chǎn)品型號

GSL-PECVD-300化學氣相沉積

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25±15,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注/氬氣(純度99.99%以上),需自備實驗所需氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、場地設備尺寸2200×2000mm×1500mm,承重1000kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、所需成膜溫度低

2、沉積速率快,應用廣泛

3、體積小,操作簡便

4、采用射頻為增強源易于控制

5、清理安裝便捷。

6、一體化觸摸屏控制

技術參數(shù)

1、系統(tǒng)采用單室式結構,手動前開門;
2真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空有效尺寸為Φ300mm×300mm;
3、極限真空度:≤6.67x10-4Pa (經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統(tǒng)從大氣開始抽氣到5.0x10-3 Pa,40分鐘可達到; 停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa;
4、采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣;
5、樣品加熱加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用控溫表進行控溫;
6噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(可根據(jù)工藝調整),并帶有標尺指數(shù)顯示;
7、 沉積工作真空:0.133-133Pa(可根據(jù)工藝調整);
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,功率500W,全自動匹配;
9、.氣體種類(用戶提供),使用質量流量控制器控制進氣。

10、系統(tǒng)設有尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。

產(chǎn)品規(guī)格

整機尺寸:1200x1500x1500mm;

標準配件

1

電源控制系統(tǒng)

1

2

真空機組

1

3

真空測量

1


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