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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 21:08:18瀏覽次數(shù):118次

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產(chǎn)品簡介

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,工作溫度可達1600℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達10-5 torr

 

產(chǎn)品型號

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

2、采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命

4、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

5、已通CE認證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:單相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  6KW

2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管,外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø92mm,長1000mm

3、加熱元件:1800℃硅鉬棒8

4、加熱區(qū)域:457mm

5、恒溫區(qū)域:150mm

6、工作溫度:1650,連續(xù)工作1600

7、升溫速率:≤5/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:B

10、不銹鋼真空法蘭:1

11、機械壓力表:1

12、針閥:2

13、連接器:KF-25,1

14、抽氣接口:KF-25轉(zhuǎn)KF-40

15、卡套接頭:1/4

高真空機組

1、電源:單相AC208V-240V  50Hz/60Hz  100W-110W

2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵

3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示

4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

6、極限:10-8mtorr(無泄漏)

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源:單相AC208V-240V  50Hz/60Hz   18W

2、功率:18W

3、混氣箱:Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,高真空機組600mm×600mm×700mm,

   質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm


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