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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間:2023-06-30 21:10:02瀏覽次數(shù):134次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,工作溫度可達(dá)1700℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可達(dá)5×10-2 torr。

 

產(chǎn)品型號(hào)

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。

3內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命

4、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

5通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208V-240V   50Hz/60Hz  5KW

2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Ø80mm,內(nèi)徑Ø72mm,長(zhǎng)1000mm

3、加熱元件:1800級(jí)硅鉬棒8

4、加熱區(qū)域:457mm

5、恒溫區(qū)域:150mm

6、工作溫度:1700

7、升降溫速率:5/min

8、控溫精度:±1

9、真空度:5×10-2 torr

10、泄漏率:6mtorr/min

真空系統(tǒng)

1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵

2、可達(dá)真空度:5×10-2 torr

3、法蘭:不銹鋼密封法蘭

4、針閥:2個(gè)不銹鋼針閥

5、真空泵接口:KF-25

6、軟管接頭:1/4

7、真空顯示計(jì):LED數(shù)字式真空顯示計(jì),測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr

浮子流量混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì):3個(gè),精確度4%FS

2、流量計(jì)范圍:10cc/min-100cc/min,16cc/min-160cc/min,25cc/min-250cc/min

3、壓力表:1個(gè),監(jiān)測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm,

   真空機(jī)組600mm×600mm×700mm

重量:210kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)


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