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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 21:13:18瀏覽次數(shù):126次

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產(chǎn)品簡介

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4--C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成的CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4″,溫度可達(dá)1200℃,極限真空可達(dá) 10-5 torr,混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進(jìn)行精確的混合,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

 

產(chǎn)品型號

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4--C9HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面的溫度<60。

2保溫材料采用高純氧化鋁纖維,減少熱量損失,且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,延長使用壽命

3、設(shè)有三個溫區(qū),可獨(dú)立控溫,可設(shè)置50段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。

4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動架內(nèi),方便移動。

5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作,按下“start鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動,待真空度達(dá) 10-2mbar后分子泵自動啟動)。

6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。

7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:AC 208V-240V單相   50Hz/60Hz  7KW

2、爐管:高純石英管,外徑Ø100mm×內(nèi)徑Ø92mm×1400mm

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲,表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū):溫區(qū)I220mm,溫區(qū)II440mm,溫度III220mm,總長880mm

5、恒溫區(qū):500mm(三個溫區(qū)設(shè)為同一溫度時)

6工作溫度:1200℃,連續(xù)工作1100

7、升溫速率:≤20/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:3K型熱電偶

高真空機(jī)組

1、輸入電源:AC110VAC220V可切換  50Hz/60Hz

2、消耗功率:110W

3、殼體尺寸:600mm×600mm×700mm

4承重量:270kg

5、抽氣速率:N2-33L/sHe-39L/s,H2-32L/s

6、工作范圍:1000mbar-<10-7mbar

7、極限真空度:10-5torr

8、數(shù)字式真空顯示計:10-8mbar-103mbar

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、質(zhì)量流量計:9通道精密質(zhì)量流量計

2、流量計范圍:10sccm-1000sccm三個,20sccm-200sccm三個,30sccm-10sccm三個

3、壓力表:3個,用來檢測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:爐體550mm×380mm×520mm,高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm,

   質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm

重量:100kg

真空配

1

不銹鋼真空密封法蘭

2

2

精密針閥

2

3

1/4軟管接頭

1

4

高溫硅膠O型密封圈(可承受300℃)

6

5

氧化鋁管堵

1

6

KF-40真空波紋管

1

7

KF-40快速卡箍

3

8

KF-25卡箍

2

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計



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