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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 21:14:37瀏覽次數(shù):173次

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產(chǎn)品簡介

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3″ )的退火,并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱,升溫速度可達(dá) 120/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機(jī)上控制運行并顯示溫度曲線。

 

 

產(chǎn)品型號

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3、PID制器,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

4通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1電源:單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2、石英管:外徑Ø110mm,內(nèi)徑Ø103mm,長380mm

3、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長200mm,絲圈Ø10mm,燈長300mm

4、加熱區(qū):300mm

5、工作溫度:溫度1100

6控溫精度:±0.5

7、升溫速度:RT-800℃時為50/s,800-1000℃時為10/s

8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動控制

9、真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水 冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

11、質(zhì)量流量計:3個,MFC1范圍0-100sccm,MFC2范圍0-200sccm,MFC3范圍0-500sccm,精度1±%FS

12、氣罐:Ø80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)75kg


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