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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 21:16:05瀏覽次數(shù):133次

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產(chǎn)品簡介

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。

 

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 

產(chǎn)品型號

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

安裝條件

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

2、輝光放電等離子體中電子密度可達109cm3-1012cm3。

3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計,可準(zhǔn)確地控制氣體流量。

5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分,可手動控制混合氣體的輸入。

7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:AC220V  4KW

2、爐管:Ø50mm,Ø60mm,Ø80mm都可用

3、溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū):440mm

5、恒溫區(qū):150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率:AC220V  1KW

2、輸出功率:50W-500W可調(diào),±1%

3、RF頻率:13.56MHz

4、噪聲:≤55DB

5、冷卻:風(fēng)冷

真空泵和質(zhì)量流量計

1、真空度:10-3torr

2、波紋管:KF25系列

3、質(zhì)量流量計:0-200,誤差0.02%,進氣口采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量:120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計


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