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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

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品       牌

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所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2023-06-30 21:17:59瀏覽次數(shù):128次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,工作溫度可達(dá)1200℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

 

產(chǎn)品型號(hào)

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<60℃。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3、PID控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。

5已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:AC 220V   50Hz/60Hz

2、石英管:外徑Ø80mm,內(nèi)徑Ø75mm,長(zhǎng)1000mm

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)

4、加熱區(qū)域:440mm

5、恒溫區(qū)域:150mm

6、工作溫度:1200連續(xù)工作1100

7、升降溫速率:20/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:K

高真空機(jī)組

1、殼體:600mm×600mm×700mm,承重275kg

2、真空泵:德國(guó)Pfeiffer真空泵

3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示

4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/sH2-32L/s

5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

6、極限:10-8mtorr(無(wú)泄漏)

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V  50Hz/60Hz

2、功率:18W

3尺寸:600mm×600mm×700mm

4、混氣箱:Ø80mm×120mm


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