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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


微型PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間:2023-06-30 21:21:13瀏覽次數(shù):153次

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產(chǎn)品簡介

微型PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:微型PECVD系統(tǒng)采用Ø3" × 16" 的石英腔體,內(nèi)部設(shè)有加熱圈對(duì)樣品進(jìn)行加熱,溫度可以達(dá)到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵,整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上,便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對(duì)于薄膜生長和納米線的制作是的選擇。

 

產(chǎn)品型號(hào)

微型PECVD系統(tǒng)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。

2、樣品可置于加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。

4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,以便于樣品的放入和取出。

5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

等離子源

1、等離子體射頻電源:110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2、輸出頻率:13.56MHz

3、射頻功率:7.2W10.5W、18W三檔,可調(diào)節(jié)

4、腔體尺寸:外徑Ø76.2mm×內(nèi)徑Ø68.58mm×長406.4mm

5、加熱圈:電源220V,功率500W,外徑Ø50mm×內(nèi)徑Ø40mm×70mm,并套有內(nèi)徑Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩

6法蘭Ø3″不銹鋼法蘭,設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2Ar,不可通入易燃易爆性氣體

8、真空度:10-2torr(機(jī)械泵)

兩通道混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì):10ml/min-100ml/min,2個(gè)

2、針閥:304不銹鋼針閥,3個(gè)

3壓力表:-0.1MPa-1.0MPa0.01MPa/grid),3個(gè)

真空泵

1、抽氣速率:120L/min

2、接口:KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

1、尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,

     兩通道混氣系統(tǒng)340mm×300mm×180mm,移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg



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