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開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開(kāi)啟式單溫區(qū)管式爐、機(jī)械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成，可為CVD或擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)提供1-3種的混合氣體，真空度可達(dá)10^-2torr。

產(chǎn)品型號(hào)	開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。 3、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 4、設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC 220V 50/60Hz 2.5KW 2、石英管：外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長(zhǎng)1000mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區(qū)域：440mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、真空度：5.5×10^-3torr（機(jī)械泵），10^-4torr（分子泵） 10、泄漏率：<5mtorr/min 11、浮子流量計(jì)：3個(gè)；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min 12、壓力表：4個(gè)
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm；重量：60kg