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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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球形脈沖激光淀積系統(tǒng)(PLD)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2023-06-30 21:24:17瀏覽次數(shù):198次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

球形脈沖激光淀積系統(tǒng)(PLD)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 該系統(tǒng)為球形脈沖激光淀積系統(tǒng)(PLD)工藝研發(fā)設(shè)備。脈沖激光沉積 (Pulsed laser deposition, PLD),就是將激光聚焦于靶材上一個(gè)較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運(yùn)動(dòng),進(jìn)而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術(shù)的應(yīng)用較為廣泛,可用來(lái)制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質(zhì)薄膜,甚至還用來(lái)制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。

 

產(chǎn)品名稱

球形脈沖激光淀積系統(tǒng)(PLD

安裝條件

1、環(huán)境溫度10℃~35℃

2、相對(duì)濕度不大于75%

3、   水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃

4、設(shè)備周?chē)h(huán)境整潔,空氣清潔,不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬導(dǎo)電的塵埃或氣體存在。

技術(shù)參數(shù)

1系統(tǒng)采用真空室為球形結(jié)構(gòu),手動(dòng)前開(kāi)門(mén)
2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學(xué)拋光鈍化處理配有可視觀察窗口真空有效尺寸為SΦ300mm
3、極限真空度:≤6.67x10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級(jí)采用8L/S);系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-8Pa.l/S; 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達(dá)到; 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤5 Pa
4、樣品臺(tái):樣品尺寸φ40mm,轉(zhuǎn)速5-30RPM,基片臺(tái)與轉(zhuǎn)靶距離4090mm
5樣品加熱加熱溫度:800℃,溫控精度:±1°C,采用控溫表進(jìn)行控溫
6、四工位轉(zhuǎn)靶:每個(gè)靶位φ40mm,擋板只露出一個(gè)靶位,激光束要求打在最上面靶位,轉(zhuǎn)靶具有公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)功能
7、真空室內(nèi)設(shè)置烘烤、照明、水壓報(bào)警裝置
8、MFC一路質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)氣 :0-100sccm

 

關(guān)鍵詞:質(zhì)量流量計(jì)

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