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沈陽科晶自動化設備有限公司


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快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 21:25:41瀏覽次數(shù):142次

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產(chǎn)品簡介

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3″ )的退火而設計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,升溫速度可達 100/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

 

產(chǎn)品型號

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要。

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、氣:設備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3PID ,可以設置30段升降溫程序,并設有過熱保護和斷偶功能。

4已通CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相208V-240V AC  50/60Hz  9KW

2、石英管:外徑Ø110mm,內(nèi)徑Ø103mm,長380mm

3、加熱元件:紅外燈管,直徑Ø10mm,長300mm

4、加熱區(qū):300mm

5、工作溫度:溫度1100

6控溫精度:±0.5

7、升溫速度:RT-800℃時為50/s800-1000℃時為10/s

8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動控制

9、真法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量計:3個,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)30kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計

關(guān)鍵詞:電池 流量計 工作臺

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