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MDPpicts 溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測

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MDPpicts溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測MicrowaveDetectedPhotoInducedCurrentTransientSpectroscopy微波探測的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測,非接觸且無損傷,用于溫度依賴的少數(shù)載流子壽命測量以及半導(dǎo)體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征

詳細(xì)介紹

MDPpicts 溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測

Microwave Detected Photo Induced Current Transient Spectroscopy

      微波探測光感應(yīng)電流瞬態(tài)檢測,非接觸無損傷,用于溫度依賴的少數(shù)載流子壽命測量以及半導(dǎo)體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。

 

 

靈敏度:對電子缺陷表征的 靈敏度

圖1. 與溫度有關(guān)的載流子發(fā)射瞬態(tài)

 

溫度范圍:液氮(77k)至500k??蛇x:液氦(4k)或更高溫度
衰變常數(shù)范圍:20納秒到幾毫秒
污染測定:測量基礎(chǔ)的陷阱能級:陷阱的活化能和俘獲截面,基于溫度和注入的壽命測定
重復(fù)性:> 99.5%,測量時間:< 60分鐘。液氮消耗:2升/次
彈性:可從不同波長(從365nm到1480nm)選擇不同種類的材料
可訪問性:基于IP的系統(tǒng)允許來自世界任何地方的遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持



從Arrhenius斜率(圖3)可以確定活化能。

利用這種新型的商用MDPpicts設(shè)備,可以在20~500k范圍內(nèi)測量溫度依賴性的光電導(dǎo)瞬態(tài)。在過去,Si, GaAs, InP, SiC和更多的半導(dǎo)體已經(jīng)成功采用了這種方法進(jìn)行研究。                                

圖2. 不同ID的評價

圖3.Arrhenius曲線圖

圖4. 不同溫度的Cz-Si晶圓片的MD-PICTS圖譜



 


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