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EVO 18分析型掃描電鏡

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

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更新時(shí)間:2024-06-05 16:42:33瀏覽次數(shù):129次

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德國(guó)蔡司EVO 18分析型掃描電鏡是一款具有處理各種材料能力的分析型顯微鏡,為您提供優(yōu)異的成像品質(zhì)。標(biāo)配能譜儀和波譜儀(EDS & WDC)接口,另有用于高級(jí)形貌與化學(xué)分析的全集成式顆粒分析和識(shí)別解決方案可供選擇。通過升級(jí)LaB6高亮度光源將與X射線分析相關(guān)的探針電流性能提升至一個(gè)全新的水準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

EVO 18分析型掃描電鏡

EVO 18 是一款具有處理各種材料能力的分析型顯微鏡,為您提供優(yōu)異的成像品質(zhì)。

 

標(biāo)配能譜儀和波譜儀(EDS & WDC)接口,另有用于高級(jí)形貌與化學(xué)分析的全集成式顆粒分析和識(shí)別解決方案可供選擇。通過升級(jí)LaB6高亮度光源將與X射線分析相關(guān)的探針電流性能提升至一個(gè)全新的水準(zhǔn)。

 

EVO 18 掃描電鏡的五象限背散射電子探測(cè)器(BSE)有助于增強(qiáng)低電壓性能及提供更豐富的形態(tài)信息。對(duì)于非導(dǎo)電樣品,電子束襯管技術(shù)可有效提高分辨率。

 

EVO 18 Research 是學(xué)術(shù)和研究機(jī)構(gòu)使用的一款分析型掃描電子顯微鏡。EVO 18 Research 為您提供優(yōu)異的成像品質(zhì),具有處理多種材料的能力。結(jié)合SmartSEM 軟件的易用性,使其成為多種研究應(yīng)用的合適之選,范圍涵蓋半導(dǎo)體和電子技術(shù)、地質(zhì)科學(xué)及材料研究。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

業(yè)內(nèi)*的X射線幾何結(jié)構(gòu)以及標(biāo)配能譜儀和波譜儀(EDS & WDS
五象限背散射電子探測(cè)器(BSE)為您提供更豐富的形態(tài)信息
可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品
可移動(dòng)的顯微鏡樣品臺(tái)用于觀察大型樣品
• 配備鎢光源和可供選擇的LaB6 光源
優(yōu)質(zhì)的生產(chǎn)工藝,曾榮獲2011年英國(guó)電子電氣工廠獎(jiǎng)以及歐特克產(chǎn)品與工藝大獎(jiǎng)

 

利用BSE探測(cè)器在5象限對(duì)濾紙的成像

技術(shù)參數(shù)

分辨力

3 nm (2 nm) @ 30 kV SE and W (LaB6)

4 nm @ 30 kV VP mode

20 nm (9 nm) @ 1 kV SE and W (LaB6)

電壓

0.2 -30 kV

探針電流

0.5 pA to 5 μA

放大倍率

< 5 - 1,000,000x

視野

分析工作距離(AWD)為6 mm

X射線幾何

8.5 mm AWD35°起飛角

OptiBeam模式

分辨率,深度,分析,魚眼領(lǐng)域

壓力范圍

10 – 400 Pa

可用的探測(cè)器

ETSE - Everhart-Thornley二次電子探測(cè)器(標(biāo)配)

BSD - 五段二極管背向散射電子探測(cè)器(標(biāo)配)

VPSE - 可變壓力二次電子探測(cè)器

SCD - 試樣電流檢測(cè)器

EDS - 能量色散譜儀

WDS - 波長(zhǎng)色散光譜儀

CL - 陰極發(fā)光檢測(cè)器

STEM - 掃描透射電子顯微鏡檢測(cè)器

工作室尺寸

365毫米(Øx 275毫米(高)

5軸電動(dòng)試樣臺(tái)

X = 125 mmY = 125 mm

Z = 50 mm電動(dòng)(大樣品高度延伸至145 mm,在Z軸,傾斜和旋轉(zhuǎn)模塊已移除的情況下)

T = -10 to 90°,R = 360°(連續(xù))

通過鼠標(biāo),操縱桿或控制面板控制工作臺(tái)

未來的可升級(jí)路徑選項(xiàng)

BeamSleeve

圖像幀庫(kù)

分辨率:掃描速度為2或更高時(shí),高可達(dá)32k x 24k

通過積分平均法來獲取信號(hào)

圖像顯示

高清晰屏幕

具有雙通道顯示功能

系統(tǒng)操作

SmartSEM ** GUI由鼠標(biāo)和鍵盤操作

多語言Windows®操作系統(tǒng)

實(shí)用需求

100 - 230 V,5060 Hz單相

無需水冷

操縱桿、鍵盤、美國(guó)控制面板和鼠標(biāo)

 

注:*OptiBeam - 有源色譜柱控制,可實(shí)現(xiàn)高分辨率,大視野或景深

* SmartSEM - 第六代SEM控制圖形用戶界面

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