KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷檢測設備

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更新時間：2022-10-30 14:33:32瀏覽次數(shù)：229次

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新耕（上海）貿(mào)易有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷檢測設備

詳細介紹

主要產(chǎn)品與服務

◆綜合解決方案：EFEM、Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)、Codex、Sorter、Storker、450mm Wafer Handling System；

◆工具自動化：大氣機器人、真空機器人、裝載埠模塊（FOUP和OCA）、對準和標定、末端執(zhí)行器；

◆軟件解決方案：Genmark集成框架和技術（GIFT™）是用于快速開發(fā)設備自動化應用的一套軟件組件，工具和技術。支持Windows NT，2000，XP；SEMI標準： E4, E5, E30, E37, E40, E42, E58, E84, E87, E90, E94, E95, E98, E99, E109, E116, E118

◆工程服務：協(xié)助OEM客戶，定制材料輸送解決方案的設計與實施。

◆運動控制：控制多功能機器人結(jié)構(gòu)，包括“偏轉(zhuǎn)”，“節(jié)距”和“滾動”的運動功能；多個軸的同步；末端執(zhí)行器框架的傾斜功能；緊急停止，等其他功能。

◆售后服務：Stock Parts、Repair、Refurbishment、Exchange、Site troubleshooting、Local service engineer,etc.

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