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光學輪廓測量儀靈活性高測量過程和數(shù)據(jù)分析可自動化中圖儀器SuperViewW1

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更新時間：2023-01-09 12:57:08瀏覽次數(shù)：309次

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器W系列光學輪廓測量儀測量過程和數(shù)據(jù)分析自動化，是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器

詳細介紹

中圖儀器W系列光學輪廓測量儀測量過程和數(shù)據(jù)分析自動化，是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

W系列光學輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件，器重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

W系列光學輪廓測量儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

關(guān)鍵詞：光學輪廓測量儀輪廓測量儀顯微鏡