Agilent VHS-6 擴散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有的凸腔設計能使氣體捕集量翻倍，并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件，便于連續(xù)監(jiān)測和對泵油的維護。鰭片式加熱盤設計增大了表面積，并延長了泵油的使用壽命。過熱保護開關和速冷盤管也是標準配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購 ASA 或 ISO 法蘭、標準或外延冷卻帽，還有多種電壓型號可選。

特性：

1.可達到在同等高度下泵的極限抽速。
2.油位觀察窗可隨時快速指示泵流體的狀況。
3.泵油注排組件
4.分餾噴嘴可純化泵油。
5.前級耐壓高。
6.過熱保護。
7.不銹鋼泵體和噴嘴
8.翅片加熱盤設計增大表面積，并延長泵油壽命。

技術(shù)指標：

抽氣速率，工作范圍抽氣速率，AVS4.1 (1963)	1550 L/s 空氣，1930 L/s 氦氣和氫氣 2400 L/s 空氣
抽氣量	在工作范圍內(nèi)為 2.4 T L/s (3.2 mbar L/s)，0.01 Torr 時為 3.5 T L/s (4.5 mbar L/s)
操作范圍	1.5 x 10^-3 至低于 5 x 10^-9 torr（2 x 10^-3至低于 6.5 x 10^-9 mbar）
前級耐壓	無負載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級泵	≥ 17 cfm (29 m³/h)
返油率，標準冷卻帽	低于 5 x 10^-4 mg/cm²/min
預熱時間	10 min
冷卻時間	10 分鐘（使用速冷盤管）
注油量	500 cc — 準確的泵油包裝可用
電氣要求	單相，50/60 Hz，120/208/240 VAC
泵功率	2200 W
冷卻水要求	在 60-80 ℉ (15-26 ℃) 時，抽速為 0.25 gpm (50 L/h)
連接水冷	1/8 英寸 FPT 三通