北京SETCAS 賽德凱斯 KW-4B型勻膠機(jī)旋涂儀 不銹鋼耐腐蝕
10000 面議污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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更新時(shí)間:2022-12-02 15:40:23瀏覽次數(shù):234次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線簡單介紹: 凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺,可分別獨(dú)立工作,也可兩臺同時(shí)工作。
設(shè)備特點(diǎn):
1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止
勻膠過程中的雜質(zhì)污染。
2、 設(shè)置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線,程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)
主要技術(shù)參數(shù):
勻膠時(shí)間:1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù):0-8000轉(zhuǎn)/分
凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸:650x750x1620mm
外體顏色:亞白色
控制范圍和精度:轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3%
時(shí)間控制范圍為:1-99秒,精度為±5%
轉(zhuǎn)速調(diào)整:采用PID調(diào)節(jié),精度高。
轉(zhuǎn)速查看智能化:可自動識別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān),自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上??捎柘冗x定,也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。
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