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產(chǎn)品型號(hào)MA/BA4
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地武漢市
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更新時(shí)間：2024-04-26 15:32:20瀏覽次數(shù)：58次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線用于工業(yè)研究和生產(chǎn)領(lǐng)域的功能強(qiáng)大的光刻及鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)MA/BA4代專業(yè)版系列是蘇斯公司半自動(dòng)光刻機(jī)的一個(gè)多面設(shè)備平臺(tái)，應(yīng)用很廣泛
MA/BA 4 代專業(yè)版系列是蘇斯公司半自動(dòng)光刻機(jī)的一個(gè)多面設(shè)備平臺(tái)，應(yīng)用很廣泛。支持最小尺寸達(dá) 150 毫米或 200 毫米的基板。它的工具和選項(xiàng)眾多，工藝參數(shù)可調(diào)整，因此具有的靈活性，既可用于科研、開發(fā)，也可用于生產(chǎn)工藝。MA/BA 4 代專業(yè)版的設(shè)計(jì)理念成熟，技術(shù)，是開發(fā)未來技術(shù)的理想設(shè)備。它為微機(jī)電系統(tǒng)、高級(jí)封裝、3D 集成、化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域樹立了新的。
MA/BA 4 代專業(yè)版系列可以便捷地集成到生產(chǎn)環(huán)境中，并且與蘇斯公司的自動(dòng)化設(shè)備兼容。因此，可便捷地實(shí)施從研發(fā)到生產(chǎn)的工藝轉(zhuǎn)化。該系列提供的、高度自動(dòng)化的功能（工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。自動(dòng)結(jié)構(gòu)識(shí)別、自動(dòng)校準(zhǔn)功能提高了工藝速度，同時(shí)降低了廢品率。
高質(zhì)量的光學(xué)和曝光系統(tǒng)、的校準(zhǔn)技術(shù)，使 MA/BA 4 代專業(yè)版系列成為開辟新天地的理想工具。它具有各種微米、納米結(jié)構(gòu)復(fù)形壓印技術(shù)作為支持。而且，改裝非常簡(jiǎn)便，晶圓與晶圓的對(duì)準(zhǔn)精度非常高，熔接鍵合簡(jiǎn)單，基板表面等離子處理準(zhǔn)備妥當(dāng)。
在光刻工藝中，只需對(duì)準(zhǔn)器件晶圓同側(cè)的結(jié)構(gòu)（例如再布線層、微凸點(diǎn) 等），用頂部對(duì)準(zhǔn)功能將掩模位置標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)晶圓位置標(biāo)記。 根據(jù)襯底的特性，這可以用存儲(chǔ)的晶圓位置數(shù)據(jù)或者用兩個(gè)現(xiàn)場(chǎng)照片 、SUSS MicroTec 開發(fā)的DirectAlign™ 直接對(duì)準(zhǔn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)。
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