：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風。這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。
FFU性能參數(shù)：
模數(shù)尺寸：FFU常用的標準模數(shù)尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’），吊龍骨中心線的間距。實際尺寸： FFU過濾器的實際尺寸=模數(shù)尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170，870，570，風機模塊的實際尺寸為1174，874，574。
機外余壓：在某一設定風速下，風機模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環(huán)風阻力的能力，無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風風速或風量，否則沒有意義。
輸入能耗：FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，F(xiàn)FU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，輸入能耗不同。因此，如果不指明運行工況點，輸入能耗值沒有意義。
單體噪音：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，噪音不同。因此，如果不指明運行工況點，噪音值沒有意義。
微振：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU在運轉工況點時的振動幅度和振動速率，單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運轉時，在距離出風面上方150mm（6”）的水平面上測量逐點的風速，得出平均風速值。平均風速與風速和*小風速的偏差比即為送風均勻度，單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內(nèi)。
過濾器效率等級：依據(jù)歐洲標準EN1822，過濾器等級從H10-H14，U15-U17?；蛞罁?jù)美國標準MIL-282（HEPA），對于0.3um的效率值；依據(jù)美國標準IES-RP-CC007.1，對于0.12um的效率值。
