極其精確和可靠的定位。用于在高負(fù)載時(shí)進(jìn)行平穩(wěn)饋通的交叉滾柱導(dǎo)軌。應(yīng)力消除鋁基座可實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性。帶直流電機(jī)和兩相步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器變型。非接觸式限位開關(guān)。

電機(jī)軸上帶集成式旋轉(zhuǎn)編碼器（帶直流電機(jī)的變型）。

集成線性編碼器。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直接位置測量，動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中的機(jī)械游隙或滯后對(duì)定位精度無影響

工業(yè)和科研，如半導(dǎo)體檢驗(yàn)、光纖對(duì)準(zhǔn)。

技術(shù)參數(shù)：

	6635911030	6635921030	66359x1230	單位	公差
	帶直流電機(jī)和旋轉(zhuǎn)編碼器的Z向位移臺(tái)	帶步進(jìn)電機(jī)的Z向位移臺(tái)	也帶線性編碼器（直接位置測量）
主動(dòng)軸	Z	Z	Z
運(yùn)動(dòng)和定位
行程	13	13		毫米
集成傳感器	旋轉(zhuǎn)編碼器		線性編碼器
傳感器分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器	5000			步/圈
設(shè)計(jì)分辨率	0.0134	1.34（全步）	0.05	微米	典型值
最小位移	0.5	0.5	0.1	微米
單向重復(fù)精度	0.5	0.5	0.1	微米
空回	2	2		微米
雙向重復(fù)性	3	3	±0.1	微米
串?dāng)_，角度誤差xry（螺距）	±100	±100		微弧度
串?dāng)_，角度誤差xrz（偏轉(zhuǎn)角）	±100	±100		微弧度
速度	6	6		毫米/秒
機(jī)械特性
負(fù)載容量	200	200		牛
保持力	30	60		牛
驅(qū)動(dòng)特性
電機(jī)類型	直流電機(jī)	兩相步進(jìn)電機(jī)
工作電壓	0至±12			伏
電機(jī)功率	17			瓦
限位開關(guān)	光學(xué)	光學(xué)
其他
工作溫度范圍	-20 到 50	-20 到 50		°C
材料	鋁，陽極氧化致黑	鋁，陽極氧化致黑
推薦控制器/驅(qū)動(dòng)器	C-863（單通道）	SMC Hydra（雙通道） C-663（單通道）	SMC Hydra（雙通道）

關(guān)鍵詞：位移臺(tái) 直流電機(jī) 步進(jìn)電機(jī) 傳感器

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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