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上海昊量光電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2024-02-12 14:21:32瀏覽次數(shù)：139次
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無掩膜SmartPrint無掩膜光刻機(jī)SMARTPRINTUV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備，可兼容多種電阻和基片
無掩膜SmartPrint
無掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備，可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀，而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù)，投影出具有微米分辨率的圖像，無掩膜光刻機(jī)SmartPrint無需任何進(jìn)一步步驟，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。
主要特性：
兼容i、h、g線光刻膠
SmartPrint-UV配備了385 nm LED源，以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠，如SU8或AZ®1500系列
適用于各種各樣的基材
我們的物鏡范圍經(jīng)過精心選擇，具有較長的工作距離(高達(dá)3厘米)，使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù)，因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的，靈活的，厚的)。
可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率 直寫分辨率1.5um
兼容任何尺寸的樣品，可至5平方英寸 對(duì)齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用
體積小，性價(jià)比高
應(yīng)用領(lǐng)域：
光器件 微流控 微電子
指標(biāo)參數(shù)：
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