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SAWATEC二手現(xiàn)貨 勻膠機(jī)SM-200

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更新時間:2023-08-28 19:33:01瀏覽次數(shù):269次

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產(chǎn)品簡介

SM-200具有高度的均勻性和可重復(fù)性,以及操作方便和操作舒適性

詳細(xì)介紹

SM-200具有高度的均勻性和可重復(fù)性,以及操作方便和操作舒適性。創(chuàng)新的RCCT系統(tǒng)(圓閉室技術(shù))有效地減少了旋轉(zhuǎn)基底上的空氣湍流,提高了涂層的均勻性,因為封閉室內(nèi)的大氣,溶劑迅速被飽和,揮發(fā)更慢,使涂層過程更均勻,顯著節(jié)省了消耗的介質(zhì)。

HP-200是為光刻、MEMS和類似應(yīng)用中的精密熱處理工藝而開發(fā)的。默認(rèn)溫度范圍設(shè)計為高達(dá)250°C。設(shè)定溫度和溫度分布更精確,這意味著可以實現(xiàn)高涂層質(zhì)量。HP系列具有高度的一致性和高精度的工藝重復(fù)性。它可用于直徑達(dá)200mm,厚度為18mm的基板。

SAWATEC二手現(xiàn)貨 勻膠機(jī)SM-200

基礎(chǔ)配置功能:

? 最多可編程50個節(jié)目,每個節(jié)目有24個片段

? 重復(fù)流程的快速啟動功能

? 具有觸摸屏面板的用戶友好流程配置

? 過程參數(shù):速度、加速度、時間

? 可選擇旋轉(zhuǎn)方向(CW、CCW)

? RCCT系統(tǒng)(圓形密閉室技術(shù))

? 為最多4條介質(zhì)線準(zhǔn)備的動態(tài)分配臂

? 基板的手動裝卸

? 通過真空和安全聯(lián)鎖保護(hù)固定基板

? 過程完成時的聲音信號


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