MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器具有 ISO 21501 數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)推廣使用的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。

詳細(xì)介紹

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器具有 ISO 21501 數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)推廣使用的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。

選擇MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的優(yōu)勢所在

? 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染

? 熱插拔電池-***確保儀器長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無需停機(jī)

? 測試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤

? 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。

? 靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作

? 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤，并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃！

? 符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
專用于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的產(chǎn)品參數(shù)

通道個(gè)數(shù)	6
粒徑	0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源	氦氖激光器
重量	不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤
尺寸	33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
機(jī)箱材質(zhì)	便于清洗的鈍化不銹鋼
流速	1.0 CFM (28.3 LPM)
零計(jì)數(shù)	ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
符合損失	在 50,000 /ft3 時(shí)，為5%，符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)
泵的類型	可供連續(xù)使用的磚利的多瓣閉路循環(huán)控制泵
計(jì)數(shù)效率	在0.1 µm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時(shí)為 99%
運(yùn)行溫度	10 * 40°C; 相對濕度為10 * 90%，無冷凝
顯示	? VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機(jī)	高速熱敏打印機(jī)
語言	英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語，日語，中文
可以顯示的*大數(shù)值	9,999,999 displayed
延遲時(shí)間	15秒鐘*23小時(shí)59分59秒
采樣/停留時(shí)間	1秒鐘*23小時(shí)59分59秒
計(jì)數(shù)警報(bào)	1~ 9,999,999 個(gè)計(jì)數(shù)值
位置	編號：0 * 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上
數(shù)據(jù)存儲	5,000 個(gè)樣品，在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(dòng)(FIFO 或 Overflow)
輸出	USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報(bào)和掃描探頭)
鋰電池，可充電、可熱插拔	Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入	空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭
自動(dòng) CDA 清洗	連接到CDA之后，清洗電磁閥會(huì)被激活
電源	24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型	智能鋰電池，可充電，可熱插拔
電池使用時(shí)間	*短 3 小時(shí)
電池的充電時(shí)間	電池的充電時(shí)間
包含電池?cái)?shù)量	2組

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的隨附配件

部件編號	描述
2087966-01	等動(dòng)力探頭1.00 CFM，鍍鎳鋁制3/8“倒鉤接頭
960380	樣品管，內(nèi)徑 3/8" ，長 10英尺
2088035-01	等動(dòng)力探頭適配器，鋁制
970650	等動(dòng)力探頭三腳架
230-300-7052	24VDC電源輸出
VP623500	電源線：115VAC, 6' L
VP623501	電源線：115VAC, 6' L
2087939-01	零計(jì)數(shù)過濾器 1CFM
2087090	PortAll 軟件,CD
460519	打印紙，2卷
280-120-2024	2組鋰電池
210-400-5171	觸摸屏手寫筆
2088010-01	128M USD閃存驅(qū)動(dòng)
410-150-0011	3針微型接線端子
410-420-0020	接線端子罩殼
490-200-0001	無線天線，附帶無線版本P / N 2088800-02

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器可選配件

部件編號	描述
CAL_GAS_3411	3411型的氣體校準(zhǔn)，包括氦、氬、二氧化碳和氮?dú)?
701241-01	3400系列IQ / OQ 驗(yàn)證文件（CD）
2087966-02	等動(dòng)力探頭1.0 CFM，不銹鋼制3/8“倒鉤接頭
2089406-01	等動(dòng)力探頭支架
460519	打印紙（價(jià)格以每卷計(jì)）
280-300-5000	智能電源充電器
280-120-2024	智能鋰電池
2088928	溫度和相對濕度探針VAISALA HMP50
2087939-01	零點(diǎn)計(jì)數(shù)過濾器（1.0 CFM型）
460-400-4798	電纜，USB2.0 高速，1m
2084045-02	Particle Vision PortAll, 2.0.x版，套件，下載工具軟件，適配器和說明書（串行電纜需單獨(dú)購買）
700011-21	PortAll 許可標(biāo)準(zhǔn)版
2088000-01	過濾器掃描探頭（電子式）1 CFM
2088000-02	過濾器掃描探頭（無電子式）1 CFM
2088012-02	適配器，USB轉(zhuǎn)RS232，USB線纜
2088012-01	適配器，USB轉(zhuǎn)RS485，USB線纜
2080732-8	高壓擴(kuò)散器，用于 1.0 CFM 設(shè)備。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域

專應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計(jì)數(shù)：
? 潔凈室驗(yàn)證監(jiān)測
? 潔凈室的分級
? ISO14644潔凈室驗(yàn)證
? 潔凈室顆粒物監(jiān)測
? 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測
? 顆粒污染源的排除過程
? HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
? 過濾器掃描
? 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體，流量會(huì)自動(dòng)調(diào)整

空氣顆粒計(jì)數(shù)器生命科學(xué)標(biāo)準(zhǔn)及委員會(huì)：
? 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)
? ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
? ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計(jì)數(shù)器
? 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)