它是一種數(shù)字質量流量設備，通過標準通信功能（RS 485）實現(xiàn)高精度和高速響應，同時結構緊湊，采用高速繞線傳感器和內部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。
- 小型質量流量裝置（W76 x D30 x H76）
- 高速應答及出色的零點穩(wěn)定性
□0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇 - 電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
- 通過切換旋轉開關，可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值 - 標準配備通訊功能（RS485）
- 符合RoHS?CE標準
EX-250S標準規(guī)格
| 形式 | 質量流量控制器 EX-250SC | 質量流量計 EX-250SM | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | – | |
| 目標氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的氣體換算成N2） | ||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范圍（測量范圍） | 2~100％（F.S.） | ||
| 響應速度 | 總流量控制范圍在1sec內（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼（* 6），PTFE，F(xiàn)KM | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A | ||
| 流量設定輸入信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω） | – | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下） | ||
| 數(shù)字通信 | 通過RS485旋轉開關設置地址 | ||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下） | ||
| 接頭（* 7） | 1/4F900（標準） | ||
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 重量（* 8） | 約500g | 約440g | |
（* 1）干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量單位SCCM、SLM是將質量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。
（* 3）流量范圍（滿量程）的精度。
（* 4）工作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 5）不含滲透。長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 6）質量流量計不使用磁性不銹鋼。
（* 7）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 8）重量不含接頭。
尺寸圖
接線連接
SW1氣體類型分配表
