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特氣管道五項(xiàng)測(cè)試氦檢漏保壓水份顆粒氧含量測(cè)試|LANTO朗拓實(shí)驗(yàn)室高純氣路集中供氣系統(tǒng)

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高純氣體特氣管道五項(xiàng)測(cè)試：氦檢漏，壓力測(cè)試，水份含量測(cè)試，顆粒含量測(cè)試，氧含量測(cè)試

詳細(xì)介紹

  • 設(shè)備主管路主要是通各種特種氣體，需做測(cè)試項(xiàng)目有：耐壓測(cè)試、保壓測(cè)試、氦檢測(cè)試、水分測(cè)試、氧分測(cè)試、顆粒測(cè)試。

    1、耐壓測(cè)試目的：管道在承受高壓后銜接點(diǎn)不會(huì)外漏，以確保所有人員的安全。另外管路中的高壓可以偵測(cè)出焊道上是否有沙孔存在（沙孔會(huì)因?yàn)檫^(guò)高的壓力造成泄露）。

    2、保壓測(cè)試目的：確保管路輸送系統(tǒng)沒(méi)有明顯的泄漏，以便對(duì)管路系統(tǒng)進(jìn)行氦測(cè)漏。

    3、氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試目的：利用氦質(zhì)譜儀感測(cè)漏入系統(tǒng)中的微量的氦氣來(lái)測(cè)漏，并根據(jù)檢測(cè)到的氦氣的量來(lái)確定漏率的大小。                  

    4、水分、氧分、顆粒檢測(cè)（三臺(tái)儀器并聯(lián)使用）

    1）水分檢測(cè)的目的主要是為了避免管道內(nèi)水含量過(guò)高時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)制程造成影響。

    2）氧分檢測(cè)的目的主要是為了避免管道內(nèi)氧含量過(guò)高時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)制程造成影響。

    3）顆粒檢測(cè)主要是檢測(cè)管道內(nèi)微粒子的粒徑大小和數(shù)量多少。如果管道內(nèi)微粒子過(guò)多會(huì)對(duì)產(chǎn)品良率影響很大。

關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀

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