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TS3500 Probe System 全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)

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適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用?模塊量測(cè)-DC-IV

詳細(xì)介紹

適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用
? 模塊量測(cè) - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
? 可靠性測(cè)試 - 精確的壓力測(cè)試
? *的測(cè)試控制軟件套件
? 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
? 為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境
? 支持飛安低漏電值量測(cè)

在建模和新技術(shù)開發(fā)過(guò)程中進(jìn)行器件表征的常見做法是，通過(guò)其精確的IV-CV，1 / f，RF，mmW和負(fù)載拉力測(cè)量從典型的幾個(gè)晶片中提取數(shù)據(jù)。

MPI的WaferWallet ™擴(kuò)展了TS3500系列自動(dòng)化功能，而不會(huì)影響測(cè)量能力。WaferWallet ™設(shè)計(jì)有五個(gè)單獨(dú)的托盤，可按人體工程學(xué)手動(dòng)裝載150、200 或300毫米的“模型"晶圓，可以在不同溫度下用多達(dá)五個(gè)相同的晶片進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)試。