PURERON陶瓷氣體過濾器PGF

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更新時(shí)間：2024-01-19 13:14:44瀏覽次數(shù)：211次

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上海連航機(jī)電科技有限公司

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具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性

詳細(xì)介紹

具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）

對(duì)于亞微米LSI工藝，須向使用點(diǎn)供應(yīng)高純度工藝氣體。為此，超清潔管道也是一個(gè)主要問題。為了滿足這些要求，Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器，并在穩(wěn)定條件下實(shí)現(xiàn)了0.003μm的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。
去除諸如水和氧的雜質(zhì)對(duì)于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質(zhì)，高溫烘烤是的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個(gè)角度開發(fā)的，可以在200°C下進(jìn)行高溫烘烤。通過免維護(hù)操作降低成本。
三層過濾結(jié)構(gòu)，取決于顆粒直徑的大小，很少產(chǎn)生堵塞。與傳統(tǒng)過濾器相比，陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此，生產(chǎn)停工造成的損失很小，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期成本降低。