EZ6高精密勻膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)EZ6

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廠商性質(zhì)其他

所在地北京市

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更新時(shí)間：2024-03-23 17:49:44瀏覽次數(shù)：407次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  半導(dǎo)體前處理儀器

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北京銘成基業(yè)科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：81條

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EZ6高精密勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

詳細(xì)介紹

詳情介紹

產(chǎn)品介紹：

名稱：高精密勻膠機(jī)

型號(hào)：EZ6

原產(chǎn)地：美國(guó)，USA

應(yīng) 用：EZ6高精密勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品概述：

　　EZ6被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制，5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
　　EZ6設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，程控操作，且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì)，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

EZ6性能參數(shù)：

l 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

l 速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

l 加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

l 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

l 可編程10組10步程序

l 寬電壓輸入：AC100-230V

EZ6產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 100W 直流無(wú)刷電機(jī)，PLC 控制

l 5”全彩觸摸屏

l 系統(tǒng)中英文可選