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VAC-W系列HMDS預處理烘箱

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2025-01-11 10:26:28瀏覽次數:53次

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產品簡介

VAC-W系列HMDS預處理烘箱

詳細介紹

VAC-W系列HMDSyuchuli真空烤箱用于在涂膠前對晶片進行預處理。設備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預抽真空,150oC熱氮加熱,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質的擴散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對人體無害的顯著優(yōu)點;也可用于晶片其它工藝的清洗??刂撇捎肞LC,人機界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作方便、直觀等特點。
標準功能:

u LCC臨時高達500°F(260°C)的LCD溫度。高達662°F(350°C)

u 真空度可達1托(133Pa)

u 不銹鋼內部和外部,所有內部接縫連續(xù)焊接在絕緣側,以保護腔室免受污染

u 制具有大型LCD顯示屏,集成數據記錄功能和USB端口,可實現簡單的烤箱設置和數據導出

u Modbus通信連接,用于遠程監(jiān)控和記錄

u 循環(huán)結束和高限制聲光報警

u 可編程門鎖

u 開放式控制面板

選項:

u 數據采集軟件

u 無油真空泵

u 自動HMD添加裝置

u 符合CE標準


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