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紅外線加熱式熱脫附質(zhì)譜儀 TDS1200Ⅱ

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更新時間：2023-03-17 13:14:51瀏覽次數(shù)：264次

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特色紅外加熱式熱脫附質(zhì)譜儀TDS1200Ⅱ是利用質(zhì)譜儀在超高真空中，通過程序升溫實時觀察樣品脫附逸出的化合物

詳細介紹

特色

紅外加熱式熱脫附質(zhì)譜儀TDS1200Ⅱ是利用質(zhì)譜儀在超高真空中，通過程序升溫實時觀察樣品脫附逸出的化合物。由于在超真空中量測，即使微量的水、氫、CO2，也可以被檢測，對于從樣品中脫附的分子，可以定性及定量化學物質(zhì)。還可以獲得脫附氣體的吸收/結(jié)合狀態(tài)和擴散過程等信息。適用于容易進行紅外線加熱的測量，例如薄膜樣品和具有薄片形式的樣品。

Load Lock Chamber樣品預載腔體
Load Lock Chamber樣品預載腔體是實現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。如果沒有預載腔體，則每次更換樣品時都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會吸入大量空氣(主要是水)，需要長時間抽真空才能恢復到合適的真空度。

紅外線加熱方式

對于熱脫附分析中，在加熱樣品時，不加熱分析室或分析室內(nèi)部的部件是非常重要。如果TDS 在分析期間加熱腔室，則很難區(qū)分從樣品中熱脫附的氣體和從腔室中熱脫附的氣體。 TDS1200II通過石英棒引入的紅外輻射直接加熱樣品，即使在高溫范圍內(nèi)也能抑制背景水平的增加，從而提供高靈敏度測量。

QMS游離腔

為了以高靈敏度檢測熱脫附的氣體，QMS游離腔直接設(shè)計在樣品上方。樣品正上方的位置利于樣品熱脫附的氣體直接到達QMS游離腔，從而能高度靈敏地檢測易于沉積的金屬或高分子量的有機化合物。

定量脫附的氣體

數(shù)據(jù)處理軟件可以對脫附氣體進行定量分析，需要定期校準質(zhì)譜儀的靈敏度。一般使用標準漏孔進行靈敏度校準需要準備與氣體類型相同的昂貴標準品，并且校準過程需要花費大量時間。此外，當使用標準泄漏有毒氣體時，安全衛(wèi)生控制也更加嚴格。與標準泄漏校準方法相比，ESCO當前的離子電流量化程序可以快速、簡單、安全地量化逸出氣體。通過定期測量ESCO的 NIST可追溯氫標準樣品，即可以獲得高精度的結(jié)果。即使對氫氣以外的氣體也能進行靈敏度校正，并且已證實與AIST國家標準的標準泄漏校正的定量結(jié)果非常吻合。

項目	規(guī)格
真空壓力	主腔體 <5*10-7
樣品尺寸	15154 mm
溫度范圍	50-1200℃
升溫速率	1-180℃/min
偵測器	QMS
感度 Ar	1*1011 Ar/s (S/N=3)
軟件	TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV